SeedsNo.2626

光干渉式測定装置およびその測定装置を備えた測定機能付き加工装置

本発明は、加工中に被加工物の計測を行うインプロセス式の光干渉式測定装置に関し、特に、干渉縞が広範囲で連続する良好な干渉縞画像を得られる装置に関する。本発明は、ラッピングやポリッシング加工法などの砥粒加工中の測定に好適に適用される。また、本発明は、上記測定装置を備えた加工装置に関する。

kenbo

Due Date:2018-04-03


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